SURFACE-TOPOGRAPHY OF ETCHED GAAS-SURFACES

被引：8

作者：

SETHI, BR ^{[1
]}

HARTNAGEL, HL ^{[1
]}

JOURDAN, G ^{[1
]}

机构：

[1] TH DARMSTADT,INST ANGEW PHYS,D-6100 DARMSTADT,FED REP GER

来源：

关键词：

ACIDIC ETCHING - DOUBLE REPLICA TEM - ISLAND-TYPE FEATURES - SMOOTH SURFACES - SURFACE TOPOGRAPHY;

D O I：

10.1080/00207218608920816

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：561 / 563

页数：3