USE OF GLOW-DISCHARGE FOR ION SILICIDING AND BORIDING

被引:3
作者
VEZHKHON, T
BOGATSKI, Y
KARPINSKI, T
机构
关键词
D O I
10.1007/BF00779594
中图分类号
TF [冶金工业];
学科分类号
0806 ;
摘要
引用
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页码:175 / 177
页数:3
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共 4 条
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