共 4 条
FACING TARGETS SPUTTERING SYSTEM FOR DEPOSITING CO-CR PERPENDICULAR MAGNETIC RECORDING MEDIA
被引:4
作者:
NIIMURA, Y
NAOE, M
机构:
来源:
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS
|
1987年
/
5卷
/
01期
关键词:
D O I:
10.1116/1.574143
中图分类号:
TB3 [工程材料学];
学科分类号:
0805 ;
080502 ;
摘要:
引用
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页码:109 / 110
页数:2
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