THERMAL-OXIDATION OF SILICON IN THE PRESENCE OF COMPOUNDS CONTAINING NITROGEN

被引：0

作者：

ANOKHIN, VZ

MALEVSKAYA, LA

机构：

来源：

INORGANIC MATERIALS | 1991年 / 27卷 / 01期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

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共 1 条

[1]

UGAI YA, 1982, DOKL AKAD NAUK SSSR, V267, P144