GETTERING OF IMPLANTED BORON BY THIN ION-DISTURBED SILICON LAYERS

被引：0

作者：

PAVLOV, PV

KURILCHIK, EV

机构：

来源：

DOKLADY AKADEMII NAUK SSSR | 1978年 / 241卷 / 02期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

O [数理科学和化学]; P [天文学、地球科学]; Q [生物科学]; N [自然科学总论];

学科分类号：

07 ; 0710 ; 09 ;

摘要：

引用

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页码：401 / 403

页数：3

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共 5 条

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