COMPARATIVE STUDY OF PLASMA ANODIZATION OF SILICON IN A COLUMN OF A DC GLOW DISCHARGE

被引：25
作者：
COPELAND, MA
PAPPU, R
机构：
来源：
APPLIED PHYSICS LETTERS | 1971年 / 19卷 / 06期
关键词：
D O I：
10.1063/1.1653882
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：199 / &
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