A SILICON ELECTROSTATIC ULTRASONIC TRANSDUCER

被引：78
作者：
SUZUKI, K
HIGUCHI, K
TANIGAWA, H
机构：
来源：
IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL | 1989年 / 36卷 / 06期
关键词：
D O I：
10.1109/58.39112
中图分类号：
O42 [声学];
学科分类号：
070206 ; 082403 ;
摘要：
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页码：620 / 627
页数：8
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  • [1] ANKE DV, 1974, ACUSTICA, V30, P30
  • [2] SENSORS, CONTROLS, AND MAN-MACHINE INTERFACE FOR ADVANCED TELEOPERATION
    BEJCZY, AK
    [J]. SCIENCE, 1980, 208 (4450) : 1327 - 1335
  • [3] GRANZ B, 1982, ACOUST IMAGING, V12, P307
  • [4] HIGUCHI K, 1986, P IEEE ULTR S, P559
  • [5] Kleinschmidt P., 1985, P IEEE ULTR S, P457
  • [6] KUHL W, 1954, ACUSTICA, V4, P519
  • [7] KUKUCHI Y, 1969, ULTRASONIC TRANSDUCE, P209
  • [8] NAKATERA K, 1986, IECE JAPAN TECH G EA, V86, P67
  • [9] PBTIO3 THIN-FILM ULTRASONIC MICRO-SENSOR FABRICATED ON SI WAFER
    OHTANI, K
    OKUYAMA, M
    HAMAKAWA, Y
    [J]. JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS, 1984, 23 : 133 - 135
  • [10] OLSON HF, 1957, ACOUSTICAL ENG, P205
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