MECHANICAL-PROPERTIES AND MICROSTRUCTURES OF AL-1-PERCENT-SI THIN-FILM METALLIZATIONS

被引：33

作者：

GRIFFIN, AJ ^{[1
]}

BROTZEN, FR ^{[1
]}

DUNN, CF ^{[1
]}

机构：

[1] TEXAS INSTRUMENTS INC,HOUSTON,TX 77001

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(87)90095-2

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：237 / 244

页数：8

共 9 条

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