ISOLATION OF ULTRAHIGH VACUUM SYSTEMS FROM OIL DIFFUSION PUMPS

被引:4
作者
GRETZ, RD
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1968年 / 5卷 / 02期
关键词
D O I
10.1116/1.1492577
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:49 / &
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