BEHAVIOR OF IMPLANTATION-INDUCED DEFECTS IN HGCDTE

被引:66
作者
BUBULAC, LO
TENNANT, WE
RIEDEL, RA
MAGEE, TJ
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1982年 / 21卷 / 01期
关键词
D O I
10.1116/1.571728
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:251 / 254
页数:4
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