MONITORING OF INTERNAL GETTERING DURING BIPOLAR PROCESSES

被引：19

作者：

GRAFF, K

HEFNER, HA

HENNERICI, W

机构：

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1988年 / 135卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1149/1.2095846

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

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页码：952 / 957

页数：6

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