ETCHING OF SUBMICRON PORES IN IRRADIATED MICA

被引:82
作者
BEAN, CP
DOYLE, MV
ENTINE, G
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1659056
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:1454 / &
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