ENERGY DISTRIBUTION OF MO IONS RETURNING TO SPUTTERING CATHODE IN AN ARGON GLOW DISCHARGE

被引：0
作者：
HOUSTON, JE
机构：
来源：
BULLETIN OF THE AMERICAN PHYSICAL SOCIETY | 1970年 / 15卷 / 03期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
O4 [物理学];
学科分类号：
0702 ;
摘要：
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页码：433 / &
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共 1 条
  • [1] ION ENERGIES AT CATHODE OF A GLOW DISCHARGE
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