DOPING OF SI BY TRANSIENT ANNEALING OF DEPOSITED LAYERS

被引:0
作者
MAENPAA, M
LAU, SS
VONALLMEN, M
GOLECKI, I
NICOLET, MA
MINNUCCI, J
机构
[1] CALTECH,DEPT ELECT ENGN,PASADENA,CA 91125
[2] SPIRE CORP,BEDFORD,MA 01730
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
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页码:C348 / C348
页数:1
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