INTERDIFFUSION IN MO/GE MULTILAYER THIN-FILMS

被引:2
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作者
NAKAJIMA, H
机构
来源
MATERIALS TRANSACTIONS JIM | 1989年 / 30卷 / 04期
关键词
D O I
10.2320/matertrans1989.30.242
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页码:242 / 250
页数:9
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