SIMPLE SEM STEREOPHOTOGRAMMETRIC METHOD FOR 3-DIMENSIONAL EVALUATION OF FEATURES ON FLAT SUBSTRATES

被引：18

作者：

BOYDE, A

HOWELL, PGT

FRANC, F

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1111/j.1365-2818.1986.tb02782.x

中图分类号：

TH742 [显微镜];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：257 / 264

页数：8

共 14 条

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