INFRARED-LASER INDUCED REACTION OF SF6 WITH SILICON SURFACES

被引：44

作者：

CHUANG, TJ

机构：

[1] IBM Research Laboratory, San Jose

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.439045

中图分类号：

O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];

学科分类号：

070304 ; 081704 ;

摘要：

[No abstract available]

引用

页码：6303 / 6304

页数：2

共 6 条

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