DETECTION AND CHARACTERIZATION OF INDIVIDUAL GE LAYERS IN SI(100) USING RAMAN-SPECTROSCOPY

被引：39
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作者：
TSANG, JC
IYER, SS
DELAGE, SL
机构：
来源：
APPLIED PHYSICS LETTERS | 1987年 / 51卷 / 21期
关键词：
D O I：
10.1063/1.98558
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
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页码：1732 / 1734
页数：3
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