PREPARATION OF HARD COATINGS

被引：9

作者：

HILL, RJ ^{[1
]}

SCHEUERMANN, G ^{[1
]}

LUCARIELLO, R ^{[1
]}

机构：

[1] AIRCO INC,DIV AIRCO TEMESCAL,BERKELEY,CA 94710

来源：

THIN SOLID FILMS | 1977年 / 40卷 / JAN期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(77)90121-3

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：217 / 222

页数：6

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共 3 条

[1] ACTIVATED REACTIVE EVAPORATION PROCESS FOR HIGH RATE DEPOSITION OF COMPOUNDS [J].

BUNSHAH, RF ;

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