DESIGN OF ELECTRON-BEAM SCANNING SYSTEMS USING MOVING OBJECTIVE LENS

被引：21

作者：

OHIWA, H

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1978年 / 15卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.569611

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：849 / 852

页数：4

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