RESTORATION OF CHANNEL WAVE-GUIDE PROFILES USING A DIFFERENTIAL PHASE OPTICAL MICROSCOPE

被引:0
作者
BOZHEVOLNAYA, EA
BOZHEVOLNYI, SI
ZOLOTOV, EM
POSTNIKOV, AV
RADKO, PS
机构
来源
PISMA V ZHURNAL TEKHNICHESKOI FIZIKI | 1991年 / 17卷 / 19期
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:37 / 41
页数:5
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共 5 条
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