LASER CLEANING OF GAAS-SURFACES INVACUO

被引：10

作者：

RODWAY, DC ^{[1
]}

CULLIS, AG ^{[1
]}

WEBBER, HC ^{[1
]}

机构：

[1] ROYAL SIGNALS & RADAR ESTAB,GREAT MALVERN WR14 3PS,WORCESTERSHIRE,ENGLAND

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0378-5963(80)90058-6

中图分类号：

O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];

学科分类号：

070304 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：76 / 81

页数：6

共 7 条

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