HARMONIC ELECTROSTATIC MOTORS

被引：64
作者：
TRIMMER, W
JEBENS, R
机构：
[1] AT&T Bell Lab, United States
来源：
SENSORS AND ACTUATORS | 1989年 / 20卷 / 1-2期
关键词：
28;
D O I：
10.1016/0250-6874(89)87097-0
中图分类号：
O65 [分析化学];
学科分类号：
070302 ; 081704 ;
摘要：
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页码：17 / 24
页数：8
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