INTERFEROMETRIC ELLIPSOMETRY

被引：56

作者：

HAZEBROEK, HF ^{[1
]}

HOLSCHER, AA ^{[1
]}

机构：

[1] KONINKLIJKE SHELL LAB, AMSTERDAM, NETHERLANDS

来源：

JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1973年 / 6卷 / 09期

关键词：

D O I：

10.1088/0022-3735/6/9/013

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：822 / 826

页数：5

共 8 条

[1]

BASHARA NM, 1969, RECENT DEVELOPMENTS

[2]

BORN M, 1970, PRINCIPLES OPTICS

[3]

Landau L.D., 1968, COURSE THEORETICAL P, V5

[4]

MACCRACKINS FL, 1963, J RES NBS A PHYS CH, V67, P363

[5]

PASSAGLIA E, 1963, ELLIPSOMETRY MEASURE

[6] POLARIZATION PROPERTIES OF CORNER REFLECTORS AND CAVITIES [J].

PECK, ER .

[7] A THEORETICAL AND EXPERIMENTAL ANALYSIS OF ELLIPSOMETER [J].

SMITH, PH .

[8]

WOONKIE P, 1971, SURF SCI, V28, P61