LATERALLY DRIVEN POLYSILICON RESONANT MICROSTRUCTURES

被引：565
作者：
TANG, WC [1 ]
NGUYEN, TCH [1 ]
HOWE, RT [1 ]
机构：
[1] UNIV CALIF BERKELEY, ELECTR RES LAB, BERKELEY, CA 94720 USA
来源：
SENSORS AND ACTUATORS | 1989年 / 20卷 / 1-2期
关键词：
D O I：
10.1016/0250-6874(89)87098-2
中图分类号：
O65 [分析化学];
学科分类号：
070302 ; 081704 ;
摘要：
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页码：25 / 32
页数：8
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