LATERALLY DRIVEN POLYSILICON RESONANT MICROSTRUCTURES

被引：565

作者：

TANG, WC ^{[1
]}

NGUYEN, TCH ^{[1
]}

HOWE, RT ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV CALIF BERKELEY, ELECTR RES LAB, BERKELEY, CA 94720 USA

来源：

SENSORS AND ACTUATORS | 1989年 / 20卷 / 1-2期

关键词：

D O I：

10.1016/0250-6874(89)87098-2

中图分类号：

O65 [分析化学];

学科分类号：

070302 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：25 / 32

页数：8

共 27 条

[1]

ANDRES MV, 1987, 3RD EUR S SENS ACU C, P18

[2]

BENEKE W, 1987, 4TH P INT C SOL STAT, P838

[3]

BURNS DW, 1988, THESIS U WISCONSIN M

[4]

DEROO DW, 1988, THESIS U WISCONSIN M

[5]

EERNISSE EP, 37TH P ANN S FREQ CO, P255

[6] ETCHED SILICON VIBRATING SENSOR [J].

GREENWOOD, JC .

JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 1984, 17 (08) :650-652

GUCKEL, H ;

RANDAZZO, T ;

BURNS, DW .

[8]

GUCKEL H, 1988, JUN IEEE SOL STAT SE, P96

[9] RESONANT-MICROBRIDGE VAPOR SENSOR [J].

HOWE, RT ;

MULLER, RS .

[10]

HOWE RT, 1984, THESIS U CALIFORNIA