FABRICATION OF ION-SENSITIVE FIELD-EFFECT TRANSISTORS USING A SILICON-ON-SAPPHIRE

被引:0
作者
AKIYAMA, T
KOMIYA, K
OKABE, Y
SUGANO, T
NIKI, E
机构
[1] UNIV TOKYO,FAC ENGN,DEPT ELECT ENGN,BUNKYO KU,TOKYO 113,JAPAN
[2] UNIV TOKYO,FAC ENGN,DEPT ELECTR ENGN,BUNKYO KU,TOKYO 113,JAPAN
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O65 [分析化学];
学科分类号
070302 ; 081704 ;
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页码:754 / 756
页数:3
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