USE OF QUARTZ-CRYSTAL RATE MONITOR TO DETERMINE VAPOR DISTRIBUTIONS

被引:3
作者
ANASTASIO, TA
SLATTERY, WJ
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1967年 / 4卷 / 04期
关键词
D O I
10.1116/1.1492547
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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