USE OF QUARTZ-CRYSTAL RATE MONITOR TO DETERMINE VAPOR DISTRIBUTIONS

被引：3
作者：
ANASTASIO, TA
SLATTERY, WJ
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1967年 / 4卷 / 04期
关键词：
D O I：
10.1116/1.1492547
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
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共 8 条
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