IRON-OXIDE - INORGANIC PHOTORESIST AND MASK MATERIAL

被引：14

作者：

SINCLAIR, WR ^{[1
]}

ROUSSEAU, DL ^{[1
]}

STANCAVI.JJ ^{[1
]}

机构：

[1] BELL TEL LABS INC,MURRAY HILL,NJ 07974

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1974年 / 121卷 / 07期

关键词：

D O I：

10.1149/1.2401954

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

收藏

页码：925 / 928

页数：4

相关论文

共 11 条

[11] IRON OXIDE SEE-THROUGH PHOTOMASKS [J].

SULLIVAN, MV .

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 1973, 120 (04) :545-550