PRODUCTION OF LARGE AREA HIGH CURRENT ION-BEAMS

被引：41

作者：

OKAMOTO, Y

TAMAGAWA, H

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1685873

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：1193 / &

共 13 条

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