ELECTRICAL AND STRUCTURE SENSITIVE MEASUREMENTS ON ION IMPLANTED GAAS

被引:16
作者
BICKNELL, R
BELL, EC
HEMMENT, PLF
TANSEY, JE
机构
来源
PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1972年 / 12卷 / 01期
关键词
D O I
10.1002/pssa.2210120139
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:K9 / &
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共 5 条
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