GROWTH MODE DISCRIMINATION OF THIN-FILMS BY AUGER-ELECTRON SPECTROSCOPY

被引:0
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作者
MATSUSHITA, Y
YAGI, K
NARUSAWA, T
HONJO, G
机构
[1] TOKYO INST TECHNOL,DEPT PHYS,OH OKAYAMA,MEGURO 152,TOKYO,JAPAN
[2] ULVAC CORP,2500,HAGIZONO,CHIGASAKI 253,JAPAN
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
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页码:567 / 570
页数:4
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