A1 REDISTRIBUTION IN THERMALLY OXIDIZED SI SURFACE

被引：6

作者：

EDAGAWA, H

MORITA, Y

INUISHI, Y

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1143/JPSJ.18.460

中图分类号：

O4 [物理学];

学科分类号：

0702 ;

摘要：

引用

页码：460 / &

共 3 条

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