THERMALLY INDUCED METASTABLE DEFECTS IN HYDROGENATED AMORPHOUS-SILICON AND SILICON-CARBON ALLOY-FILMS

被引：34
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作者：
XU, XX
OKUMURA, A
MORIMOTO, A
KUMEDA, M
SHIMIZU, T
机构：
来源：
PHYSICAL REVIEW B | 1988年 / 38卷 / 12期
关键词：
D O I：
10.1103/PhysRevB.38.8371
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
引用
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页码：8371 / 8376
页数：6
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