ANALYTICAL ELECTRON-MICROSCOPY OF MULTILAYERED THIN-FILMS USING MICROCLEAVAGE

被引:11
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作者
LEPETRE, Y
SCHULLER, IK
RASIGNI, G
RIVOIRA, R
PHILIP, R
DHEZ, P
机构
[1] UNIV PARIS SUD, LURE, F-91408 ORSAY, FRANCE
[2] UNIV AIX MARSEILLE 3, DEPT PHYS INTERACT PHOTONS MAT, F-13397 MARSEILLE 13, FRANCE
关键词
D O I
10.1117/12.7973934
中图分类号
O43 [光学];
学科分类号
070207 ; 0803 ;
摘要
引用
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页码:948 / 953
页数:6
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