DEPENDENCE OF ENERGY DISPERSION ON ION MASS EFFUSED FROM AN RF PLASMA

被引：2

作者：

OKAMOTO, Y

TAMAGAWA, H

机构：

来源：

JOURNAL OF THE PHYSICAL SOCIETY OF JAPAN | 1970年 / 28卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1143/JPSJ.28.269

中图分类号：

O4 [物理学];

学科分类号：

0702 ;

摘要：

引用

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页码：269 / &

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共 1 条

[1] ENERGY DISTRIBUTION OF POSITIVE IONS EXTRACTED FROM AN RF PLASMA [J].

OKAMOTO, Y ;

TAMAGAWA, H .

JOURNAL OF THE PHYSICAL SOCIETY OF JAPAN, 1969, 27 (01) :270-&