ULTRAHIGH-VACUUM PREPARATION AND CHARACTERIZATION OF ULTRA-THIN LAYERS OF SIO2 ON ZRO2 AND TIO2 BY CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION OF SI(OET)4

被引：33

作者：

JIN, T ^{[1
]}

OKUHARA, T ^{[1
]}

WHITE, JM ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV TEXAS,DEPT CHEM,AUSTIN,TX 78712

来源：

JOURNAL OF THE CHEMICAL SOCIETY-CHEMICAL COMMUNICATIONS | 1987年 / 16期

关键词：

D O I：

10.1039/c39870001248

中图分类号：

O6 [化学];

学科分类号：

0703 ;

摘要：

引用

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页码：1248 / 1249

页数：2

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共 13 条

[11]

Seah M. P., 1979, Surface and Interface Analysis, V1, P2, DOI 10.1002/sia.740010103

[12]

Tanabe K, 1981, CATAL SCI TECHNOL, V2, P231

[13]

1986, CHEM ENG NEWS 0811, P22