CHARACTERIZATION OF MULTIPLE-SCAN ELECTRON-BEAM ANNEALING METHOD

被引：26

作者：

MCMAHON, RA ^{[1
]}

AHMED, H ^{[1
]}

DOBSON, RM ^{[1
]}

SPEIGHT, JD ^{[1
]}

机构：

[1] PO RES CTR,RES CTR,IPSWICH 1P5 7RE,SUFFOLK,ENGLAND

来源：

关键词：

D O I：

10.1049/el:19800215

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：295 / 297

页数：3

共 6 条

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