ULTRA-MICROHARDNESS OF VACUUM-DEPOSITED FILMS .1. ULTRA-MICROHARDNESS TESTER

被引：47

作者：

NISHIBORI, M

KINOSITA, K

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(78)90011-1

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：325 / 331

页数：7

共 8 条

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