DIELECTRIC-PROPERTIES OF REACTIVELY SPUTTERED GALLIUM NITRIDE FILMS

被引：13

作者：

LAKSHMI, E

机构：

来源：

THIN SOLID FILMS | 1981年 / 83卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(81)90597-6

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：L137 / L139

页数：3

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共 3 条

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