Theory of cathode sputtering in low voltage gaseous discharges

被引：43

作者：

Townes, CH ^{[1
]}

机构：

[1] Bell Tel Labs, Murray Hill, NJ USA

来源：

PHYSICAL REVIEW | 1944年 / 65卷 / 11/12期

关键词：

D O I：

10.1103/PhysRev.65.319

中图分类号：

O4 [物理学];

学科分类号：

0702 ;

摘要：

引用

页码：319 / 327

页数：9

共 15 条

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