RETROGRADE SOLUBILITY OF ALUMINUM IN SILICON

被引：23

作者：

NAVON, D

CHERNYSHOV, V

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1722869

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：823 / 824

页数：2

共 6 条

[1] DIFFUSION OF DONOR AND ACCEPTOR ELEMENTS IN SILICON [J].

FULLER, CS ;

DITZENBERGER, JA .

[2]

GOLDSTEIN B, 1956, B AM PHYS SOC, V1, P145

[3] DIFFUSION OF ALUMINUM IN SINGLE CRYSTAL SILICON [J].

MILLER, RC ;

SAVAGE, A .

[4] ELECTRICAL PROPERTIES OF SILICON CONTAINING ARSENIC AND BORON [J].

MORIN, FJ ;

MAITA, JP .

PHYSICAL REVIEW, 1954, 96 (01) :28-35

[5]

Pfann W., 1955, J MET, V7, P961

THURMOND, CD ;

STRUTHERS, JD .