VACUUM DEPOSITION OF THIN FILMS BY MEANS OF A CO2 LASER

被引：33

作者：

GROH, G

机构：

来源：

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1968年 / 39卷 / 12期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1656056

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：5804 / &

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共 3 条

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