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GAS-DYNAMICS IN RESIDUAL-GAS ANALYZER CALIBRATION
被引：13
作者：
SANTELER, DJ
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS
|
1987年
/
5卷
/
01期
关键词：
D O I：
10.1116/1.574125
中图分类号：
TB3 [工程材料学];
学科分类号：
0805 ;
080502 ;
摘要：
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页码：129 / 133
页数：5
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