COSI2 AND SI EPITAXIAL-GROWTH IN (111) SI SUB-MICRON LINES WITH APPLICATION TO A PERMEABLE BASE TRANSISTOR

被引:14
作者
GLASTRE, G
ROSENCHER, E
DAVITAYA, FA
PUISSANT, C
PONS, M
VINCENT, G
PFISTER, JC
机构
关键词
D O I
10.1063/1.99266
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:898 / 900
页数:3
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