STUDY OF HIGH-FREQUENCY CAPACITY LOW-PRESSURE DISCHARGE

被引：0
作者：
DULKIN, AE
MOSHKALEV, SA
SMIRNOV, AS
FROLOV, KS
机构：
来源：
ZHURNAL TEKHNICHESKOI FIZIKI | 1993年 / 63卷 / 07期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
收藏
页码：64 / 73
页数：10
相关论文
共 10 条
[1]  
AINSPRUK N, 1987, PLAZMENNAYA TEKHNOLO
[2]  
BOIKO VV, 1989, FIZ PLAZMY, V54, P219
[3]  
DULKIN AE, 1991, P INT C MICROLITHOGR, P345
[4]  
GRANOVSKII VL, 1972, ELEKTRICHESKII TOK G, V2
[5]  
KAGANOVITCH ID, 1992, IEEE T PS, V20, P62
[6]   MONTE-CARLO SIMULATION OF ELECTRON PROPERTIES IN RF PARALLEL PLATE CAPACITIVELY COUPLED DISCHARGES [J].
KUSHNER, MJ .
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1983, 54 (09) :4958-4965
[7]  
LEIBERMAN MA, 1988, IEEE T PLASMA SCI, V16, P638
[8]  
MAKDANIEL M, 1976, PODVIZHNOST DIFFUZIY
[9]  
SMIRNOV AS, 1990, ZH TEKH FIZ, V35, P56
[10]  
TSENDIN LD, 1985, ZH TEKH FIZ+, V55, P2318
1