DAMAGE PROFILE IN GAAS, ALAS, ALGAAS, AND GAAS/ALGAAS SUPERLATTICES INDUCED BY SI+-ION IMPLANTATION

被引:4
作者
MATSUI, K
TAKATANI, S
FUKUNAGA, T
NARUSAWA, T
BAMBA, Y
NAKASHIMA, H
机构
来源
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS | 1986年 / 25卷 / 05期
关键词
D O I
10.1143/JJAP.25.L391
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:L391 / L393
页数:3
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