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DAMAGE PROFILE IN GAAS, ALAS, ALGAAS, AND GAAS/ALGAAS SUPERLATTICES INDUCED BY SI+-ION IMPLANTATION
被引:4
作者
:
MATSUI, K
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MATSUI, K
TAKATANI, S
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TAKATANI, S
FUKUNAGA, T
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FUKUNAGA, T
NARUSAWA, T
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NARUSAWA, T
BAMBA, Y
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BAMBA, Y
NAKASHIMA, H
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NAKASHIMA, H
机构
:
来源
:
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS
|
1986年
/ 25卷
/ 05期
关键词
:
D O I
:
10.1143/JJAP.25.L391
中图分类号
:
O59 [应用物理学];
学科分类号
:
摘要
:
引用
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页码:L391 / L393
页数:3
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