PARAMETER CORRELATION AND PRECISION IN MULTIPLE-ANGLE ELLIPSOMETRY

被引：47
作者：
BUABBUD, GH
BASHARA, NM
机构：
来源：
APPLIED OPTICS | 1981年 / 20卷 / 17期
关键词：
D O I：
10.1364/AO.20.003020
中图分类号：
O43 [光学];
学科分类号：
070207 ; 0803 ;
摘要：
引用
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页码：3020 / 3026
页数：7
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共 4 条
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