PROFILE CONTROL WITH DC BIAS IN PLASMA-ETCHING

被引：33

作者：

BRUCE, RH

REINBERG, AR

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2123855

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：393 / 396

页数：4

共 8 条

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