PHOTO-LUMINESCENCE TOPOGRAPHIC OBSERVATION OF DEFECTS IN SILICON-CRYSTALS

被引:13
作者
NAKASHIMA, H
SHIRAKI, Y
机构
关键词
D O I
10.1063/1.90439
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页数:2
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共 12 条
  • [11] Westdorp W. A., 1969, Thin film dielectrics, P546
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